Фотолитография становится трехмерной
10.02.2003

Фотолитография становится трехмерной

Американские ученые из университета штата Вашингтон под руководством Альберта Фолча (Albert Folch) разработали новую методику получения сложных трехмерных микроструктур. Новый метод станет недорогой альтернативой традиционной фотолитографии, которая в настоящее время является основой промышленного производства компьютерных микросхем и других миниатюрных устройств.

В традиционной фотолитографии на поверхность кремниевой пластины, покрытой специальным фоточувствительным слоем, накладывается специальная фотомаска. Пластина вместе с наложенной маской облучается ультрафиолетовым излучением, после чего химическое травление кремниевой пластины позволяет выявить участки, покрытые в процессе облучения маской. Участок поверхности может либо подвергнуться облучению, либо нет (полутона невозможны), соответственно вытравливаемые структуры имеют строго определенную высоту, и создание трехмерных элементов требует последовательного осуществления нескольких этапов облучения (с различными масками) и травления подложки, что значительно замедляет процесс и делает его более дорогостоящим.

Чтобы обойти проблему отсутствия "полутонов", ученые разработали серую маску, позволяющую регулировать количество ультрафиолетового излучения, проходящего сквозь различные ее участки. Фотомаска изготавливается из полимера, прозрачного для ультрафиолета. В его состав вводятся специальные фотопоглощающие добавки, концентрация которых может варьироваться в различных участках, определяя степень их прозрачности для ультрафиолета. Это дает возможность создавать сложные трехмерные поверхности. В результате появляется возможность создавать сложные типы рельефа - например, "клинья" или "лестницы" - всего за один этап.

Преимущество данной разработки по сравнению с другими опытными образцами полупрозрачных фотомасок в том, что теперь стало возможным получать любой требуемый уровень прозрачности маски, а не выбирать его из нескольких дискретных значений.

Подробнее >>

Реклама